硅微粉是一种无毒、无味、无污染的无机非金属材料。由于它具备耐温性好、耐酸碱腐蚀、导热系数高、高绝缘、低膨胀、化学性能稳定、硬度大等优良的性能，被广泛用于化工、电子、集成电路、电器、塑料、涂料、高级油漆、橡胶、国防等领域。随着高技术领域的迅猛发展，硅微粉亦将步入新的历史发展时期。

硅微粉的粒度控制

随着我国微电子工业、国防工业及其他高新技术的飞速发展，要求硅微粉必须满足高纯、超细及球形化的要求、所以，硅微粉的加工过程的污染、粒度控制、纯度控制、放射性元素控制等问题更需要严格把控。

凤阳信成工业材料有限公司使用的LS-POP(9)型激光粒度仪

不同级别的硅微粉对粒度要求是不一样的，其中“球粒”硅微粉选用高品质石英原矿，细度在325目至5000目之间，具有合理可控的粒度范围，外观为白色粉末状。当前，国内市场需求的高档硅微粉如球形硅微粉仍旧依赖进口。

新沂市宏润石英硅微粉有限公司使用中的LS-POP（6）激光粒度仪

硅微粉的球形度检测

球形硅微粉主要用于大规模集成电路封装，在航空、航天、精细化工、可擦写光盘、大面积电子基板、特种陶瓷及日用化妆品等高新技术领域也有应用，它在环氧树脂体系中作为填料后，可节约大量的环氧树脂。

颗粒球形度是颗粒的基本参数之一。球形度的大小直接影响颗粒的流动性和堆积性。目前球形度的检测主要靠显微镜。

在球形硅微粉的制备及应用过程中，球形度及粒度检测至关重要。

LS-POP(9)型激光粒度仪是欧美克仪器公司依靠英国思百吉强大的研发管理经验，结合欧美克销量最大的仪器LS-POP(6)的市场应用特点，继承LS-POP(6)适应恶劣工作环境、性价比高等优点，借鉴国外粒度仪先进平台而打造出的一款全新仪器。该仪器测试性能更强、性价比更高。

▼LS-POP(9)测试报告

技术指标：

1. 测试原理：全量程米氏散射理论

2. 测试范围：0.1～750μm

3. 进样方式：湿法

4. 重复性误差：<1%（标样D50偏差）

5. 扫描频率：1 kHz

6. 测试时间：1～2分钟

7. 检测器：通道数49个，由前向、侧向、大角和后向光电探测器组成

8. 光源种类：氦-氖激光，功率：2.0 mW，波长：0.6328 μm

9. 工作环境： 5～35℃（温度），＜85%（相对湿度）

10. 输出数据：粒度分布表、粒度分布曲线、平均粒径、中位径、比表面积等

11. 外观尺寸（L×W×H）：838×265×295mm（主机）